RIE (reaktīvā jonu kodināšana)

Atbildēt uz sludinājumu

RIE - Reaktīvā jonu kodināšana

Princips + pielietojuma jomas

RIE process (Reaktīvā jonu kodināšana) ir sausās kodināšanas process, ko galvenokārt izmanto elektronikas un mikroelektronikas ražošanā ātrai virsmas attīrīšanai vai aktivizēšanai, fotorezistentu uzpelnēšanai vai shēmu strukturēšanai uz pusvadītāju plāksnēm.

Šim nolūkam parasti izmanto tā saukto plakano plākšņu reaktoru, kā shematiski parādīts 1. attēlā. Ja pie elektrodiem pievada augstfrekvences maiņspriegumu ar negatīvu spiedienu 10-2 līdz 10-1 mbar robežās, tiek aizdedzināta zemspiediena gāzes izlāde (plazma). Tā kā plazmā esošās uzlādētās gāzes daļiņas (smagie joni, vieglie elektroni) ir atšķirīgi kustīgas, pie mazākā elektroda veidojas negatīvs potenciāls, tā sauktais pašnovirzes potenciāls. Tas ir robežās no dažiem 10 līdz dažiem 100 voltiem.

Tagad uz substrātiem (plāksnēm, iespiedshēmām utt.), kas atrodas uz mazākā elektroda, ja tiek izmantotas pareizas procesa gāzes, rodas divi efekti:

Substrāta virsmas vai esošo piemaisījumu ķīmiska atdalīšana, reaģējot ar plazmas reaktīvajām daļiņām (plazmas kodināšana)
Fiziska noņemšana, tieši pārvietojot elektriskā laukā paātrinātu jonu impulsu uz virsmu (kodināšana ar izsmidzināšanu)

RIE process apvieno abu efektu priekšrocības - augstu selektivitāti, augstu kodināšanas ātrumu un anizotropisku noņemšanu.

Sistēmas

Balstoties uz augsta līmeņa zināšanām un plašu pieredzi augstfrekvences plazmas procesu jomā, AURION ir izstrādājusi virkni RIE sistēmu, kuras galvenokārt raksturo elastīgums un ļoti laba cenas un veiktspējas attiecība. Piedāvājumā ir vairāki sistēmu izmēri visdažādākajiem substrātiem, caurlaides spējām un noņemšanas ātrumam. Pateicoties lielajai iespējamajai iekraušanas jaudai (līdz 25 plāksnēm ar Ø 150 mm vai 20 plāksnēm ar Ø 200 mm) un nelielajai platībai (ne vairāk kā 1,5 m² tīrā telpā), dažos procesos var sasniegt vairāk nekā 100 000 plāksnīšu caurlaides spēju gadā, lai gan nav dārgas automātiskās apstrādes sistēmas. Šis aspekts ir ļoti interesants ne tikai uzņēmumiem ar nelielu ieguldījumu budžetu.

Atbildēt uz sludinājumu

Kategorija
Piedāvājumus

Valsts
Germany