Ātrums, izšķirtspēja, 2D vai 3D - atkarībā no pielietojuma pusvadītāju izstrādājumu inspicēšanā ražotājiem ir dažādas prioritātes. Comet Yxlon piedāvā dažādas rentgena un datortomogrāfijas pārbaudes sistēmas, kas pielāgotas konkrētiem pārbaudes uzdevumiem.
2D radioskopija
- Ātra attēla ģenerēšana, ideāli piemērots pārbaudēm procesa laikā
- Galvenais pielietojums: tradicionālais iepakojums
- Vienkāršu vadu savienojumu, caurviju un lodēšanas izciļņu pārbaude
- Pieejams ar Cheetah un Cougar - labākais attēls īsā laikā ar zem mikrometra izšķirtspēju
Datorlaminogrāfija (CL)
- Komponentu telpisko īpašību, kā arī defektu atrašanās vietas un izmēra noteikšana
- Galvenais pielietojums: Uzlabots iepakojums
- Daudzslāņu iepakojumu un integrēto ierīču izlases pārbaude
- Pieejams Cheetah un Cougar ar vertikālo staru kūļa ceļu un augstāko izšķirtspēju, kā arī FF20 CT un FF35 CT sistēmām ar horizontālo staru kūļa ceļu
3D datortomogrāfija (CT)
- 3D mērījumi, lai noteiktu telpiskās īpašības, defektu atrašanās vietu un izmērus
- Galvenais pielietojums: detalizēta defektu analīze
- Pieejams kopā ar FF20 CT un FF35 CT sistēmām ar intuitīvu lietošanu, pateicoties Geminy lietotāja saskarnei, un kā papildinājums ar Cheetah un Cougar
- CT metroloģija