Jauns interferometrs augstas precizitātes plāksnes biezuma mērījumiem

IMS5420-TH baltās gaismas interferometrs paver jaunas perspektīvas monokristālisko silīcija plākšņu biezuma mērīšanai rūpniecībā. Pateicoties platjoslas superluminiscējošajai diodei (SLED), IMS5420-TH var izmantot gan nedopētām, gan dopētām, gan arī stipri dopētām SI plāksnēm. Biezuma mērījumu diapazons ir no 0,05 līdz 1,05 mm. Gaisa spraugu biezums ir izmērāms līdz pat 4 mm

. Pusvadītāju plākšņu ražošana ir atkarīga no visaugstākās precizitātes. Svarīgs procesa posms ir sagatavju pieslīpēšana, tādējādi panākot to vienādu biezumu. Lai nepārtraukti kontrolētu biezumu, tika izstrādāti interferometru sērijas IMS5420 baltās gaismas interferometri.

Katrs no tiem sastāv no kompakta sensora un kontroliera, kas ir iebūvēts izturīgā rūpnieciskā korpusā. Kontrolierī integrēta aktīva temperatūras kontrole nodrošina augstu mērījumu stabilitāti.

Interferometrs ir pieejams kā biezuma vai daudzpīķu biezuma mērīšanas sistēma. Ar daudzpīķu biezuma mērīšanas sistēmu var izmērīt līdz pat piecu slāņu biezumu, piemēram, plāksnes biezumu, gaisa spraugu, foliju un pārklājumus > 50 µm. Biezuma mērījumiem sarežģītos vides apstākļos IMS5420IP67 kontrolieris ir pieejams ar IP67 un nerūsējošā tērauda korpusu, kā arī ar piemērotu optisko šķiedru optiku un sensoriem.

Priekšrocības īsumā

Nanometru precīzi biezuma mērījumi nedopētām, leģētām un stipri leģētām plāksnēm
Daudzpīķa: līdz 5 slāņu noteikšana ar SI biezumu no 0,05 līdz 1,05 mm
Augsta izšķirtspēja z-asī 1 nm
Mērījumu ātrums līdz 6 kHz ātriem mērījumiem
Ethernet / EtherCAT / RS422 / PROFINET / EtherNet/IP
Vienkārša parametrizācija, izmantojot tīmekļa saskarni

Vairāk ziņu

20.09.2024 02:10

Īpašu mērījumu uzdevumu risināšana ar gataviem parametru komplektiem

Micro-Epsilon inerciālie sensori ļoti precīzi mēra mazus un lielus slīpuma leņķus vai paātrinājum...

15.09.2024 01:05

Ilgstoši panākumi: Micro-Epsilon atkal starp labākajiem vidējiem uzņēmumiem Bavārijā

Uzņēmums Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG no Ortenburgas atkal ir saņēmis prestižo apb...

10.09.2024 00:00

Lāzera sensoru savienošana tīklā ar IO-Link

OptoNCDT 1220 lāzera sensori tiek izmantoti precīziem un augstas izšķirtspējas mērījumiem. Pateic...

06.09.2024 02:10

Precīzi pārbaudīt un analizēt krāsotas automašīnu virsbūves

Izmantojot Micro-Epsilon reflectCONTROL, defektus uz spīdīgām virsmām var atklāt un klasificēt ga...

30.08.2024 01:05

Plēves biezuma noteikšana ar kapacitatīvo mērīšanas sistēmu

CapaNCDT TFG6220 kapacitatīvā mērīšanas sistēma ar maksimālu precizitāti mēra elektrovadošo plēvj...

30.08.2024 01:05

Uzticami mēra bremžu disku nodiluma aizsardzību

No 2026. gada ceturtā ceturkšņa reģistrētajiem jaunajiem transportlīdzekļiem tiek piemērots jauna...