Absolūtais interferometrs: Jauni vakuuma sensori ar 90° staru kūļa ceļu

InterferoMETER 5400-DS un 5600-DS absolūtie interferometri tiek izmantoti attāluma mērījumiem ar nanometru precizitāti. Tagad produktu grupa ir paplašināta, iekļaujot jaunus sensorus ar lielu bāzes attālumu - 10 mm. Tie ir paredzēti augstas precizitātes lietojumiem tīrā telpā un vakuumā, piemēram, mērījumiem uz pārklājuma plāksnēm.

Nemagnētiskā titāna UHV versija ļauj izmantot arī spēcīgos magnētiskajos laukos, piemēram, tādos, kādi sastopami medicīnas tehnoloģijās kodolspin vai elektronu staru mikroskopos. Konstrukcija ar 90° staru kūļa ceļu ievērojami samazina nepieciešamo uzstādīšanas vietas dziļumu. Atkarībā no kontroliera izvēles ir iespējamas linearitātes < ±50 nm vai < ±10 nm. Inovatīvajiem absolūtajiem interferometriem ir plašas pieslēguma iespējas optimālai integrācijai dažādās vadības sistēmās un ražošanas programmās. Tie ietver digitālās saskarnes, piemēram, Ethernet, EtherCAT, RS422, PROFINET un EtherNet/IP, kā arī analogo izeju. Visa kontroliera un tā sensoru konfigurācija tiek veikta kā parasti, izmantojot tīmekļa saskarni bez papildu programmatūras.