Aurion Anlagentechnik GmbH
Aurion Anlagentechnik GmbH
Aurion Anlagentechnik GmbH Plazmas klasteru sistēmas
AURION piedāvā pielāgotas daudzkameru sistēmas ar substrāta apstrādi vakuumā. Pieejamās konfigurācijas ietver bloķēšanas kameras, pārneses kameras un procesu moduļus izsmidzināšanas un RIE procesiem.