Aurion Anlagentechnik GmbH

Augstas frekvences saskaņošanas tīkli

Pielietojums
PRODIK sērijas augstfrekvences saskaņošanas tīkli tiek izmantoti pilnībā automātiskai plazmas pretestības saskaņošanai ar VF ģeneratora izejas pretestību ar nominālo frekvenci 13,56 MHz. Dažādas shēmas ļauj bez problēmām un ar nelieliem zudumiem saskaņot diodes, magnetrona katodus un lielus plakanu elektrodus PECVD un kodināšanai (mikroelektronika, displeju tehnoloģija u. c.).

Tīkli (matchbox) ir optimizēti visaugstākajai procesa stabilitātei un piedāvā vadošās mērīšanas un kontroles tehnoloģijas. Tas nodrošina optimālu lietošanas ērtumu un vislabāko procesa kontroli.

Aparatūra
Mūsu saskaņošanas tīkli tiek ražoti bezkompromisa augstā kvalitātē. Augstas kvalitātes vakuuma un keramikas kondensatori, kā arī apsudrabotas vadītāju daļas, kas izgatavotas no cieta vara visos īpaši saspringtajos punktos, garantē augstu darbības uzticamību un reproducējamību. Korpusi ir izgatavoti no alumīnija, un visiem vākiem ir vara-berilija atsperu kontakti. Tas nodrošina īpaši augstas kvalitātes HF ekranēšanu un vienlaikus ļauj viegli atvērt un aizvērt ierīces, izmantojot dažus ātri atveramus stiprinājumus.

Mērīšanas metode
Divi spriegumi tiek mērīti pie fiksēta kondensatora pie Matchbox ieejas, izmantojot kapacitatīvos sprieguma dalītājus. Tie ir konstruēti ar zemu sakabes koeficientu, kas slāpē pārklāšanos.

Strāvas tiek noteiktas no spriegumu starpībām, tādējādi novēršot kļūdainus tiešās strāvas mērījumus ar induktīvajiem savienotājiem.

Izmērītās vērtības tiek reģistrētas ar logaritmisko pastiprinātāju. Šī tehnoloģija nodrošina visaugstāko precizitāti ar maksimālu dinamiku.

Ieejas impedances un (ar mazāku precizitāti) slodzes impedances tiek aprēķinātas no izmērītajiem datiem. Pamatojoties uz to, kontrolieris nosaka mainīgo kondensatoru optimālos iestatījumus. Ieejas un slodzes pretestību var parādīt vai tālāk apstrādāt, izmantojot sistēmas vadību.

Turklāt sērkociņa izejā tiek mērīts līdzstrāvas novirzes potenciāls, un plazmas noteikšanas sistēma nosaka, vai plazma ir aizdegusies.
Vadības koncepcija
PRODIK sērija pārliecina ar inovatīvu sensoru tehnoloģiju un modernu CAN kopnes tehnoloģiju ar decentralizētu inteliģenci.

Visi mērīšanas signāli tiek A/D konvertēti uzreiz pēc iegūšanas un pēc tam pārraidīti digitāli un tādējādi bez traucējumiem vai zudumiem pa kopni.

Vakuuma kondensatoru motoru piedziņām ir sava elektronika (CUB) ar motoru draiveriem, pozīcijas noteikšanu un CAN saskarni. Saziņā ar centrālo kontrolieri tiek izmantota kalibrēšana tieši pF. Tas nozīmē, ka visu iepriekš kalibrēto kondensatora bloku ar piedziņu var pilnībā nomainīt, neveicot nekādus kalibrēšanas pasākumus. Visi procesa parametri ir tieši reproducējami.

Centrālajam kontrollerim ASC papildus CAN kopnei standarta aprīkojumā ir RS232 un Profibus interfeiss.

Ir pieejama universālā analogā/digitālā interfeisa karte (GCT), lai integrētu HF ģeneratoru. tādējādi ASC var pilnībā pārņemt HF ģeneratora kontroli. Tas ļauj, piemēram, kontrolēt visu HF sistēmu, ieskaitot ģeneratoru, kas nav saderīgs ar Profibus, izmantojot ASC Profibus saskarni.
AURION vadības koncepcijas shematisks attēlojums
Automātiskajai regulēšanai, kā jau minēts, tiek mērīti 2 spriegumi uz ieejas fiksētā kondensatora. No tā tiek aprēķināta ieejas pretestība, kas, savukārt, ar nedaudz samazinātu precizitāti ļauj noteikt izejas jeb slodzes pretestību. Pēc izvēles ir iespējams tieši izmērīt šo izejas pretestību un tādējādi precīzi kontrolēt saistīto jaudu.

Izmantojot slodzes pretestību, ir iespējams noteikt reaktīvo jaudu, izejas strāvu un citus procesam būtiskus parametrus.

Tos var pieprasīt, attēlot un novērtēt, izmantojot ETHOS konfigurācijas programmatūru, vai tālāk apstrādāt ar sistēmas vadības sistēmu (piemēram, PLC).

Pilnīga modulācija ļauj ātri un elastīgi, tikai ar programmatūras atbalstu pielāgot vadības koncepciju visdažādākajām prasībām. Piemēram, ir pieejami programmatūras varianti ātrai cikla darbībai ar izsmidzināšanas laikiem dažu sekunžu diapazonā. Šajā gadījumā klasiskā autotūninga metode nebūtu piemērojama.

Tomēr AURION tehnoloģija ļauj apvienot stabilu īsu izsmidzināšanas procesu ar automātisku dreifa kompensāciju starp procesiem un tādējādi iegūt visas priekšrocības.

PRODIK sērijas saskaņošanas tīkli tiek izstrādāti atbilstoši klienta rūpnīcas prasībām. Šim nolūkam ir pieejamas dažādas shēmas