Izmeklēšanas pieprasījums
Plazmu izmanto daudzu virsmas apstrādes uzdevumu veikšanai, piemēram, pārklājumu uzklāšanai, polimēru aktivizēšanai, mikroelektronisko komponentu kodināšanai un tīrīšanai. Virsmu tīrīšanai pašlaik izmanto dažādas plazmas ģenerēšanas metodes: Radiofrekvences (40 kHz un 13,56 MHz) un mikroviļņu viļņi. Tipiski gāzu maisījumi satur skābekli, argonu un dažkārt ūdeņradi un karbontetrafluorīdu.