Katalogs
KĻŪT PAR PARTNERI
KĻŪT PAR PARTNERI
Katalogs

Aurion Anlagentechnik GmbH

Aurion Anlagentechnik GmbH

  • DIN EN ISO 9001:2015

Aurion Anlagentechnik GmbH

  • DIN EN ISO 9001:2015

Atpakaļ pie saraksta

Aurion Anlagentechnik GmbH Plazmas kodināšanas iekārtas

Izmeklēšanas pieprasījums  

RIE process (reaktīvā jonu kodināšana) ir sausās kodināšanas process, ko izmanto elektronikas un mikroelektronikas ražošanā. Pielietojums ir, piemēram, ātra un īpaši augsta virsmas tīrīšana, virsmas aktivizēšana, fotorezistentu noņemšana un pusvadītāju kodināšana

Šim procesam parasti izmanto plakanu plākšņu reaktoru (sk. 1. attēlu). Pēc gāzes atmosfēras ar spiedienu no 10-2 līdz 10-1 mbar radīšanas gāzes izlādi (plazmu) aizdedzina, pievadot RF spriegumu. Vieglo elektronu un smago jonu atšķirīgās kustības dēļ elektriskajā laukā pie mazākā elektroda (substrāta nesēja) veidojas negatīvs līdzstrāvas potenciāls. Šis pašnovirzes potenciāls parasti ir aptuveni 10 līdz daži simti voltu.

Izmeklēšanas pieprasījums  

Izmantojot šo vietni, jūs piekrītat izmantot sīkfailus saskaņā ar mūsu privātuma politiku.
Es tam piekrītu