Izmeklēšanas pieprasījums
Sadarbībā ar Ferdinand-Braun-Institut für Höchstfrequenztechnik, Berlīnē, ir izstrādāti šie jaunie, ļoti kompaktie un rentablie plazmas avoti.
AURION IMAPlaS sērijas modeļus var izmantot visu veidu virsmu aktivizēšanai un tīrīšanai, kā arī vairāku materiālu noņemšanai. Tāpēc tos izmanto plašās mikroelektronikas, elektronikas, optikas, sensoru tehnoloģijas, medicīnas un citās rūpniecības jomās. Tās ir pilnībā integrētas, lietošanai gatavas sistēmas dažādās konfigurācijās.