Micro-Epsilon absolūtie interferometri nosaka jaunus augstas precizitātes attāluma mērīšanas standartus. Jaunais IMP-DS10/90/VAC miniatūrais sensors ir paredzēts lietošanai vakuumā un, pateicoties 90 grādu staru kūlim, ļauj ietaupīt vietu. Sensors ir saderīgs ar interferoMETER IMS5400 vai IMS5600 kontrolieriem.

InterferoMETER 5400-DS un 5600-DS absolūtos interferometrus izmanto attāluma mērījumiem ar nanometru precizitāti. Tagad produktu grupa ir paplašināta, iekļaujot jaunus sensorus ar lielu bāzes attālumu - 10 mm. Tie ir paredzēti augstas precizitātes lietojumiem tīrā telpā un vakuumā, piemēram, mērījumiem uz pārklājuma plāksnēm. Nemagnētiskā titāna UHV versija ļauj izmantot arī spēcīgos magnētiskajos laukos, piemēram, tādos, kādi sastopami medicīnas tehnoloģijās kodolspin vai elektronu staru mikroskopos.

90° staru kūļa trajektorijas konstrukcija ievērojami samazina vajadzīgo uzstādīšanas vietas dziļumu. Atkarībā no kontroliera izvēles ir iespējamas linearitātes < ±50 nm vai < ±10 nm. Inovatīvajiem absolūtajiem interferometriem ir plašas pieslēguma iespējas optimālai integrācijai dažādās vadības sistēmās un ražošanas programmās. Tie ietver digitālās saskarnes, piemēram, Ethernet, EtherCAT, RS422, PROFINET un EtherNet/IP, kā arī analogo izeju. Visa kontroliera un tā sensoru konfigurācija tiek veikta kā parasti, izmantojot tīmekļa saskarni bez papildu programmatūras.