Micro-Epsilon interferoMETER sērijas inovatīvie balta gaismas interferometri nodrošina absolūti bezkontakta attāluma mērījumus ar visaugstāko precizitāti. Ar jauno IMP DS35/VAC Micro-Epsilon paplašina sensoru klāstu ar modeli, kas ir īpaši paredzēts vakuuma vidēm, ieskaitot ultraaugsta vakuuma apstākļus. Sensors apvieno lielu bāzes attālumu (aptuveni 35 mm) ar izšķirtspēju, kas ir mazāka par 1 nm, tādējādi tas ir īpaši piemērots sarežģītiem mērīšanas uzdevumiem, kuros izšķiroša nozīme ir precizitātei, procesa stabilitātei un integrējamībai.

Liels bāzes attālums jaunām pielietojuma iespējām

IMP DS35/VAC piedāvā mērījumu diapazonu 2,1 mm, sākot no aptuveni 35 mm. Tādējādi ir iespējams veikt precīzus attāluma mērījumus no droša attāluma, piemēram, pozīcijas uzraudzībai stikla plātņu ražošanā vai mērījumiem uz pārklātām plātnēm. Lielais bāzes attālums atvieglo arī lietošanu zemās vai grūti pieejamās mērīšanas vietās. Ar gaismas punkta diametru tikai 15 µm var uzticami reģistrēt arī mazās struktūras, savukārt mērīšanas leņķis ±1° nodrošina stabilus mērījumu rezultātus sarežģītās uzstādīšanas situācijās.

Augsta precizitāte apvienojumā ar jaudīgiem kontrolieriem

IMP DS35/VAC ir aprīkots ar izturīgu nerūsējošā tērauda korpusu un ir paredzēts lietošanai vakuuma vidē līdz pat UHV. Jaunais sensors ir pieejams kopā ar kontrolieriem IMS5400 un IMS5400MP, kas ļauj sasniegt izšķirtspēju, kas mazāka par 1 nm, un linearitāti, kas mazāka par ±50 nm. Tādējādi sistēma ir piemērota augstas precizitātes attāluma mērījumiem modernos ražošanas un pārbaudes procesos. Turklāt, izmantojot kontrolieri IMS5400MP, var veikt daudzpunktu attāluma mērījumus līdz pat 13 slāņiem. Tas paver papildu iespējas caurspīdīgu, pārklātu vai daudzslāņu materiālu analīzei.