Mērīšanas uzdevumi vakuumā izvirza visaugstākās prasības izmantotajām sensoru tehnoloģijām. Tieši šajā jomā ir noderīga Micro-Epsilon precīzu mērījumu tehnoloģija: uzticami, bezkontakta un stabili sensori sniedz precīzus datus daudzās vakuuma klasēs. Atkarībā no prasībām sensorus var konfigurēt konkrētiem lietojumiem un optimāli pielāgot attiecīgajiem apstākļiem.

Pusvadītāju rūpniecībā, optikā vai aviācijā mērījumi vakuuma apstākļos ir ikdienas sastāvdaļa, vienlaikus izvirzot visaugstākās prasības sensoru tehnoloģijai. Micro-Epsilon piedāvā gan kataloga sensorus, gan īpaši izstrādātus sensorus, kas uzticami un ar augstu precizitāti darbojas ekstremālos apstākļos. Pateicoties pielāgotajiem materiāliem un optimizētajam dizainam, tie darbojas vai nu tieši vakuumā, vai arī veic mērījumus no ārpuses caur vakuuma logiem.

Atkarībā no pielietojuma tiek izmantoti optiskie, induktīvie, kapacitatīvie vai interferometriskie sensori. OptoNCDT sērijas lāzera sensori ir ideāli piemēroti attāluma mērīšanai tādos procesos kā lāzera metināšana vai aditīvā ražošana. Konfokālie sensori no confocalDT sērijas ir pirmā izvēle nanometriski precīziem biezuma mērījumiem uz plāksnēm vai displejiem. Absolūtie interferometri nodrošina augstas precizitātes attāluma un biezuma mērījumus pusvadītāju ražošanā un citos pielietojumos. Induktīvie sensori, kas balstīti uz virpuļstrāvu, no induSENSOR sērijas, kapacitatīvie sensori capaNCDT un magnētiski induktīvie sensori mainSENSOR piedāvā papildu risinājumus sarežģītiem vakuuma lietojumiem, piemēram, aviācijas nozarē.

Visi sensori tiek ražoti atbilstoši visstingrākajām specifikācijām un regulāri pārbaudīti (piemēram, TENAX paraugu ņemšana). Pateicoties kompaktajai konstrukcijai, integrētajiem kontrolieriem un inteliģentajām saskarnēm, tos var ātri uzstādīt un elastīgi integrēt esošajās sistēmās. Micro-Epsilon piedāvā piemērotu mērīšanas tehnoloģiju katram vakuuma lietojumam: pielāgotu un gatavu tūlītējai lietošanai. Papildu informāciju un padomus var atrast mūsu aktuālajā nozares brošūrā.